蒸发源：钨舟、钼舟、水银条、钨绞丝、坩埚等。

蒸发材料：铬粉、铬粒、氟化镁（MgF2）、氧化铝（Al2O3）、二氧化硅（SiO2）、硫化锌(ZnS)、防水药、一氧化硅（SiO）、五氧化二钽、氧化锆（ZrO2）、二氧化钛（TiO2）、五氧化三钛等。

辅料：晶振片、真空规管、磁铁、高温胶带等。